사업분야
01
전구체 (Precursor)
- 사업개요
-
전구체(precursor)는 반도체의 미세회로를 위한 박막 증착에 사용되는 소재로,
ALD 및 CVD 공정이 가능하도록 설계된 유기금속화합물 입니다. - 엘피엔은 고객들의 Needs에 맞춰 다양한 종류의 Precursor들 제공하고 있습니다.
Product
주요 제품군
-
Zr Precursor
- 반도체 DRAM의 Capacitor 공정에 사용
- ALD 공정 ZrO2 박막 증착용
-
Hf Precursor
- 반도체 DRAM의 Capacitor 공정에 사용
- ALD 공정 HfO2 박막 증착용
-
Ti Precursor
- 반도체 DRAM의 Capacitor 공정에 사용
- ALD 공정 Leakage current protecting layer
-
Cu Precursor
- Micro LED, CIGS, Solar Cell 공정에 사용
-
Ni Precursor
- Micro LED, CIGS, Solar Cell 공정에 사용
